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中芯国际集成电路测试结构相关专利公布 天天动态

亚汇网   2023-06-04 17:32:40


(资料图片)

感谢亚汇网网友专利摘要显示：一种集成电路测试结构、其形成方法及其测试方法，其中，集成电路测试结构包括：衬底；位于衬底上的第一测试结构，第一测试结构包括第一测试线以及与第一测试线两端分别连接的第一衬垫组和第二衬垫组；位于衬底上的第二测试结构，第二测试结构包括第二测试线以及与第二测试线连接的第三衬垫，所述第一测试线与第二测试线之间电隔离，所述第一测试线与第二测试线构成电容结构。所述集成电路测试结构能够利用同一结构测试电阻和电容，提升了测得的电阻和电容之间相关性的准确度。亚汇网从官方获取到，中芯国际主要提供0.35微米到FinFET不同技术节点的晶圆代工与技术服务。2023年第一季度营业收入102.09亿元，同比减少13.9%；归母净利润15.91亿元，同比下降44%。目前，中芯深圳已进入量产，中芯京城预计下半年进入量产，中芯东方预计年底通线，中芯西青还在建设中。
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